我校国家科技重大专项立项取得新突破

发布单位:党委宣传部 2017年09月27日 10:29  点击:[]

校新闻中心讯 近日,“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”(简称国家02专项)重大专项实施管理办公室公布了02专项2017年度项目立项结果,由我校材料科学与工程学院王广欣教授千人专家团队联合宁波江丰电子材料有限公司、宁波创润有限公司申报的子课题“超高纯Co金属材料产业化技术研发”成功获批。

国家02专项是《国家中长期科学和技术发展规划纲要(2006-2020)》中确定的16个重大专项之一,是《中国制造2025》的重要内容。专项通过极大规模集成电路制造装备及成套工艺等核心技术突破和优势资源集成,旨在实现极大规模集成电路国产化。

“超高纯Co金属材料产业化技术研发”子课题通过超高纯Co金属材料提纯技术的研究与开发,将形成超高纯钴年产50吨生产规模,满足12吋集成电路用靶材对超高纯Co的生产要求,形成超高纯材料与高端靶材一体化供应体系,打破国外对超高纯Co及靶材制备技术和市场垄断,满足我国高端制造业、战略性新兴产业创新发展的需求,提升我国基础材料产业整体竞争力。

“超高纯Co金属材料产业化技术研发”子课题获批是我校在国家科技重大专项的又一突破。该课题实施将进一步巩固学校在高纯材料及溅射靶材研究领域的优势与特色,有利于促进我校在电子功能材料相关平台建设和科研水平的提升,有助于提高人才培养的质量,为打破国外对超大规模集成电路制备技术垄断贡献智慧和力量。

王广欣,河南科技大学材料科学与工程学院教授,国家千人计划专家。曾先后担任美国霍尼韦尔(Honeywell)电子材料公司首席工程师、美国奇美(Kemet)电子产品公司技术助理、美国威廉姆斯(Williams)先进材料公司首席科学家,主要从事高纯材料、材料表面工程等方向的研究。在Ta粉参数和Ta电容器性能之间关系、Ta丝脆化现象、高纯Co高纯Ta提纯新工艺、超细金属基氧化物颗粒复合材料新工艺等方面拥有较高造诣和丰富成果,为行业发展建设作出了重要贡献。

通讯员/张聚伟(科技处)

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